Iompróir Wafer Sic Cothrománach

Leathsheoltóirí VeTekIompróir Wafer Sic Cothrománach/Tá leáphointe an-ard ag bád (thart ar 2700°C), a chuireann ar chumas anIompróir Wafer Sic Cothrománach/Bád chun oibriú go cobhsaí i dtimpeallachtaí ardteochta gan dífhoirmiú nó díghrádú. Tá an ghné seo thar a bheith tábhachtach sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra, go háirithe i bpróisis mar anáil ardteochta nó sil-leagan ceimiceach gaile (CVD).

Tá anIompróir Wafer Sic Cothrománach/Tá na róil seo a leanas go sonrach ag bád sa phróiseas chun iompróirí sliseog a iompar:

Bearradh agus tacaíocht sliseog sileacain: Úsáidtear Bád Wafer SiC Cothrománach go príomha chun sliseoga sileacain a iompar agus a thacú le linn déantúsaíochta leathsheoltóra. Féadann sé sliseoga sileacain iolracha a shocrú go daingean le chéile chun a chinntiú go bhfanann siad i riocht maith agus i gcobhsaíocht le linn an phróisis phróiseála ar fad.

Teas agus fuarú aonfhoirmeach: Mar gheall ar sheoltacht ard teirmeach SiC, is féidir leis an mBád Wafer an teas a dháileadh go héifeachtach go cothrom ar gach sliseog sileacain. Cuidíonn sé seo le téamh nó fuarú aonfhoirmeach na sliseog sileacain a bhaint amach le linn próiseála ardteochta, ag cinntiú comhsheasmhacht agus iontaofacht an phróisis phróiseála.

Cosc a chur ar éilliú: Cuireann cobhsaíocht cheimiceach SiC ar a chumas feidhmiú go maith i dtimpeallachtaí ardteochta agus gáis chreimneach, rud a laghdóidh nochtadh na sliseog sileacain d'ábhar salaithe nó d'imoibritheoirí, rud a chinntíonn íonacht agus cáilíocht na sliseog sileacain.

Go deimhin, is féidir leis an mBád Wafer SiC Cothrománach an ról thuas a imirt mar gheall ar a saintréithe táirge uathúla:

Cobhsaíocht cheimiceach den scoth: Tá friotaíocht creimeadh den scoth ag ábhar SiC ar éagsúlacht meáin cheimiceacha. Sa phróiseas próiseála gáis nó leachtanna creimneach, is féidir le SiC Wafer Boat seasamh in aghaidh go héifeachtach le creimeadh ceimiceach agus sliseog sileacain a chosaint ó éilliú nó damáiste.

Seoltacht teirmeach ard: Cuidíonn seoltacht ard teirmeach SiC le teas a dháileadh go cothrom sa phróiseas iompróra agus carnadh teasa a laghdú. Féadann sé seo cruinneas rialaithe teochta a fheabhsú le linn próiseála beachtas agus téamh nó fuarú aonfhoirmeach na sliseog sileacain a chinntiú.

Comhéifeacht leathnú teirmeach íseal: Ciallaíonn comhéifeacht leathnú íseal teirmeach ábhar SiC go bhfuil athrú tríthoiseach SiC Wafer Boat an-bheag le linn athruithe teochta. Cuidíonn sé seo le cobhsaíocht tríthoiseach a chothabháil le linn próiseála ardteochta agus cuireann sé cosc ​​​​ar dhífhoirmiú nó dí-áitiú suíomhach sliseog sileacain de bharr leathnú teirmeach.

Airíonna fisiceacha bunúsacha an Iompróir Wafer Sic Cothrománach:

Siopa Táirgthe Leathsheoltóra VeTek:

Forbhreathnú ar an slabhra tionscal epitaxy sliseanna leathsheoltóra: