An tSín Carbide Sileacain Soladach Monaróir, Soláthraí, Monarcha

Is comhpháirt thábhachtach ceirmeach é VeTek Semiconductor Soladach Sileacain Carbide i dtrealamh eitseála plasma, cairbíd sileacain soladach (CVD chomhdhúile sileacain(c) áirítear páirteanna sa trealamh eitseálafáinní ag díriú, ceann cithfholcadh gáis, tráidire, fáinní imeall, etc. Mar gheall ar imoibríocht íseal agus seoltacht chomhdhúile sileacain soladach (cairbíd sileacain CVD) do gháis eitseála clóirín agus fluairín, is ábhar idéalach é do threalamh eitseála plasma ag díriú ar fháinní agus eile. comhpháirteanna.

Mar shampla, is cuid thábhachtach é an fáinne fócais a chuirtear lasmuigh den wafer agus i dteagmháil dhíreach leis an wafer, trí voltas a chur i bhfeidhm ar an bhfáinne chun an plasma a théann tríd an bhfáinne a dhíriú, agus mar sin an plasma a dhíriú ar an wafer chun aonfhoirmeacht an fháinne a fheabhsú. próiseáil. Tá an fáinne fócas traidisiúnta déanta as sileacain nógrianchloch, sileacain seoltaí mar ábhar fáinne fócais coitianta, tá sé beagnach gar do seoltacht na sliseog sileacain, ach tá an ganntanas friotaíocht eitseáil bocht i fluairín-ina bhfuil plasma, páirteanna meaisín eitseála ábhair a úsáidtear go minic ar feadh tréimhse ama, beidh tromchúiseach. feiniméan creimeadh, ag laghdú go mór a éifeachtúlacht táirgthe.

SFáinne Fócas SiC olidPrionsabal Oibre：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Comparáid idir Fáinne Fócais Si-Bhunaithe agus Fáinne Fócais CVD SiC:

Comparáid idir Fáinne Dírithe Si Bunaithe agus Fáinne Dírithe SiC CVD
Mír	Agus	CVD SiC
Dlús (g/cm³)	2.33	3.21
Bearna banda (eV)	1.12	2.3
Seoltacht theirmeach (W / cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/ ℃)	2.6	4
Modal leaisteacha (GPa)	150	440
Cruas (GPa)	11.4	24.5
Friotaíocht a chaitheamh agus creimeadh	bocht	Ar fheabhas

Tairgeann VeTek Semiconductor páirteanna soladach chomhdhúile sileacain (chomhdhúile sileacain CVD) cosúil le fáinní fócasaithe SiC do threalamh leathsheoltóra. Is fearr na fáinní fócasacha chomhdhúile sileacain soladach atá againn ná sileacain traidisiúnta i dtéarmaí neart meicniúil, friotaíocht ceimiceach, seoltacht theirmeach, marthanacht ardteochta, agus friotaíocht eitseála ian.

Áirítear ar phríomhghnéithe ár bhfáinne fócasaithe SiC:

Dlús ard le haghaidh rátaí laghdaithe eitseála.

Insliú den scoth le bandgap ard.

Seoltacht teirmeach ard agus comhéifeacht íseal leathnú teirmeach.

Friotaíocht tionchar meicniúil Superior agus elasticity.

Cruas ard, friotaíocht caitheamh, agus friotaíocht creimeadh.

Monaraithe ag baint úsáide asdeascadh gaile ceimiceach feabhsaithe plasma (PECVD)teicnící, go gcomhlíonann ár bhfáinne fócasaithe SiC na héilimh mhéadaitheacha a bhaineann le próisis eitseála i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Tá siad deartha chun cumhacht agus fuinneamh plasma níos airde a sheasamh, go sonrach iplasma cúpláilte capacitive (CCP)córais.

Soláthraíonn fáinní fócasaithe SiC VeTek Semiconductor feidhmíocht eisceachtúil agus iontaofacht i ndéantúsaíocht feistí leathsheoltóra. Roghnaigh ár gcomhpháirteanna SiC le haghaidh cáilíochta agus éifeachtúlachta níos fearr.

View as

Ceann Cith Soladach i gcruth Diosca SiC

Is VeTek Semiconductor monaróir trealaimh leathsheoltóra tosaigh sa tSín agus monaróir gairmiúil agus soláthraí Ceann Cith Soladach SiC-chruthach Diosca. Úsáidtear ár gCeann Cith Cruth Diosca go forleathan i dtáirgeadh taisce scannáin tanaí ar nós próiseas CVD chun dáileadh aonfhoirmeach gás imoibrithe a chinntiú agus tá sé ar cheann de na comhpháirteanna lárnacha de foirnéise CVD.

Leigh Nios mo Seol Fiosrúchán

Cuid Séalaithe SiC

Mar mhonaróir táirge chun cinn SiC Sealing Part agus monarcha sa tSín. Is comhpháirt séalaithe ardfheidhmíochta é VeTek Semiconducto SiC Sealing Part a úsáidtear go forleathan i bpróiseáil leathsheoltóra agus i bpróisis ardteochta agus ardbhrú eile. Fáilte roimh do chomhairliúchán breise.

Leigh Nios mo Seol Fiosrúchán

Ceann Cith Silicon Carbide

Is VeTek Semiconductor monaróir tosaigh agus soláthraí táirgí Silicon Carbide Shower Head sa tSín. Tá caoinfhulaingt teocht ard den scoth ag SiC Shower Head, cobhsaíocht cheimiceach, seoltacht theirmeach agus dea-fheidhmíocht dáileacháin gáis, a fhéadfaidh dáileadh aonfhoirmeach gáis a bhaint amach agus cáilíocht scannáin a fheabhsú. Dá bhrí sin, úsáidtear é de ghnáth i bpróisis ardteochta mar thaisceadh gaile ceimiceach (CVD) nó próisis sil-leagan gaile fisiceach (PVD). Fáilte roimh do chomhairliúchán breise.

Leigh Nios mo Seol Fiosrúchán

Fáinne Séala Carbide Sileacain

Mar mhonaróir agus monarcha táirgí Fáinne Séala Sileacain Carbide gairmiúil sa tSín, úsáidtear Fáinne Séala Carbide Sileacain Leathsheoltóra VeTek go forleathan i dtrealamh próiseála leathsheoltóra mar gheall ar a fhriotaíocht teasa den scoth, friotaíocht creimeadh, neart meicniúil agus seoltacht theirmeach. Tá sé oiriúnach go háirithe do phróisis a bhaineann le teocht ard agus gáis imoibríocha ar nós CVD, PVD agus eitseáil plasma, agus is príomh-rogha ábhartha é sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra. Tá fáilte roimh do chuid fiosrúchán breise.

Leigh Nios mo Seol Fiosrúchán

Bloc CVD SiC le haghaidh Fás Criostail SiC

Díríonn VeTek Semiconductor ar thaighde agus ar fhorbairt agus ar thionsclaíocht bhulcfhoinsí CVD-SiC, bratuithe CVD SiC, agus bratuithe CVD TaC. Ag tabhairt bloc CVD SiC le haghaidh SiC Crystal Growth mar shampla, tá an teicneolaíocht próiseála táirgí chun cinn, tá an ráta fáis tapa, friotaíocht ard teochta, agus tá friotaíocht creimeadh láidir. Fáilte a fhiosrú.

Leigh Nios mo Seol Fiosrúchán

Teicneolaíocht Nua Fáis SiC Crystal

Is féidir cairbíd sileacain ultra-ardíonachta Vetek Semiconductor (SiC) arna fhoirmiú trí thaisceadh gaile ceimiceach (CVD) a úsáid mar bhunábhar chun criostail chomhdhúile sileacain a fhás trí iompar fisiceach gaile (PVT). I dTeicneolaíocht Nua Fás Criostail SiC, déantar an bunábhar a luchtú isteach i breogán agus subliminte ar chriostail síl. Bain úsáid as na bloic CVD-SiC a caitheadh chun an t-ábhar a athchúrsáil mar fhoinse chun criostail SiC a fhás. Fáilte chun comhpháirtíocht a bhunú linn.

Leigh Nios mo Seol Fiosrúchán

<1 2 >

Mar mhonaróir Carbide Sileacain Soladach gairmiúil agus soláthraí sa tSín, tá ár monarcha féin againn. Cibé an bhfuil seirbhísí saincheaptha uait chun freastal ar riachtanais shonracha do réigiún nó ag iarraidh a cheannach chun cinn agus durable Carbide Sileacain Soladach a rinneadh sa tSín, is féidir leat teachtaireacht a fhágáil chugainn.