Carbide Sileacain Soladach

Is comhpháirt thábhachtach ceirmeach é VeTek Semiconductor Soladach Sileacain Carbide i dtrealamh eitseála plasma, cairbíd sileacain soladach (CVD chomhdhúile sileacain(c) áirítear páirteanna sa trealamh eitseálafáinní ag díriú, ceann cithfholcadh gáis, tráidire, fáinní imeall, etc. Mar gheall ar imoibríocht íseal agus seoltacht chomhdhúile sileacain soladach (cairbíd sileacain CVD) do gháis eitseála clóirín agus fluairín, is ábhar idéalach é do threalamh eitseála plasma ag díriú ar fháinní agus eile. comhpháirteanna.

Mar shampla, is cuid thábhachtach é an fáinne fócais a chuirtear lasmuigh den wafer agus i dteagmháil dhíreach leis an wafer, trí voltas a chur i bhfeidhm ar an bhfáinne chun an plasma a théann tríd an bhfáinne a dhíriú, agus mar sin an plasma a dhíriú ar an wafer chun aonfhoirmeacht an fháinne a fheabhsú. próiseáil. Tá an fáinne fócas traidisiúnta déanta as sileacain nógrianchloch, sileacain seoltaí mar ábhar fáinne fócais coitianta, tá sé beagnach gar do seoltacht na sliseog sileacain, ach tá an ganntanas friotaíocht eitseáil bocht i fluairín-ina bhfuil plasma, páirteanna meaisín eitseála ábhair a úsáidtear go minic ar feadh tréimhse ama, beidh tromchúiseach feiniméan creimeadh, ag laghdú go mór a éifeachtúlacht táirgthe.

SFáinne Fócas SiC olidPrionsabal Oibre：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Comparáid idir Fáinne Fócais Si-Bhunaithe agus Fáinne Fócais CVD SiC:

Comparáid idir Fáinne Dírithe Si Bunaithe agus Fáinne Dírithe SiC CVD
Mír	Agus	CVD SiC
Dlús (g/cm³)	2.33	3.21
Bearna banda (eV)	1.12	2.3
Seoltacht theirmeach (W / cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/ ℃)	2.6	4
Modal leaisteacha (GPa)	150	440
Cruas (GPa)	11.4	24.5
Friotaíocht a chaitheamh agus creimeadh	bocht	Ar fheabhas

Tairgeann VeTek Semiconductor páirteanna soladach chomhdhúile sileacain (chomhdhúile sileacain CVD) cosúil le fáinní fócasaithe SiC do threalamh leathsheoltóra. Is fearr na fáinní fócasacha chomhdhúile sileacain soladach atá againn ná sileacain traidisiúnta i dtéarmaí neart meicniúil, friotaíocht ceimiceach, seoltacht theirmeach, marthanacht ardteochta, agus friotaíocht eitseála ian.

Áirítear ar phríomhghnéithe ár bhfáinne fócasaithe SiC:

Dlús ard le haghaidh rátaí laghdaithe eitseála.

Insliú den scoth le bandgap ard.

Seoltacht teirmeach ard agus comhéifeacht íseal leathnú teirmeach.

Friotaíocht tionchar meicniúil Superior agus elasticity.

Cruas ard, friotaíocht caitheamh, agus friotaíocht creimeadh.

Monaraithe ag baint úsáide asdeascadh gaile ceimiceach feabhsaithe plasma (PECVD)teicnící, go gcomhlíonann ár bhfáinne fócasaithe SiC na héilimh mhéadaitheacha a bhaineann le próisis eitseála i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Tá siad deartha chun cumhacht agus fuinneamh plasma níos airde a sheasamh, go sonrach iplasma cúpláilte capacitive (CCP)córais.

Soláthraíonn fáinní fócasaithe SiC VeTek Semiconductor feidhmíocht eisceachtúil agus iontaofacht i ndéantúsaíocht feistí leathsheoltóra. Roghnaigh ár gcomhpháirteanna SiC le haghaidh cáilíochta agus éifeachtúlachta níos fearr.

View as

Ard-íonachta CVD SiC amhábhar

Is é amhábhar CVD SiC ardíonachta arna ullmhú ag CVD an t-ábhar foinse is fearr le haghaidh fás criostail chomhdhúile sileacain trí iompar gaile fisiciúil. Tá dlús amhábhar CVD SiC Ard-íonachta a sholáthraíonn VeTek Semiconductor níos airde ná sin na gcáithníní beaga a fhoirmítear trí gháis ina bhfuil Si agus C a dhó go spontáineach, agus níl foirnéis shintéirithe tiomnaithe ag teastáil uaidh agus tá ráta galú beagnach seasmhach aige. Is féidir leis criostail aonair SiC ardchaighdeáin a fhás. Ag tnúth le d'fhiosrúchán.

Féach ar Tuilleadh >> Seol Fiosrúchán >>

Iompróir wafer soladach SiC

Tá iompróir wafer soladach SiC VeTek Semiconductor deartha le haghaidh timpeallachtaí ardteochta agus resistant creimeadh i bpróisis epitaxial leathsheoltóra agus tá sé oiriúnach do gach cineál próisis déantúsaíochta wafer a bhfuil riachtanais ardíonachta acu. Is é VeTek Semiconductor príomh-sholáthraí iompróra wafer sa tSín agus tá sé ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tionscal leathsheoltóra.

Féach ar Tuilleadh >> Seol Fiosrúchán >>

Ceann Cith Soladach i gcruth Diosca SiC

Is VeTek Semiconductor monaróir trealaimh leathsheoltóra tosaigh sa tSín agus monaróir gairmiúil agus soláthraí Ceann Cith Soladach SiC-chruthach Diosca. Úsáidtear ár gCeann Cith Cruth Diosca go forleathan i dtáirgeadh taisce scannáin tanaí ar nós próiseas CVD chun dáileadh aonfhoirmeach gás imoibrithe a chinntiú agus tá sé ar cheann de na comhpháirteanna lárnacha de foirnéise CVD.

Féach ar Tuilleadh >> Seol Fiosrúchán >>

Cuid Séalaithe SiC

Mar mhonaróir táirge chun cinn SiC Sealing Part agus monarcha sa tSín. Is comhpháirt séalaithe ardfheidhmíochta é VeTek Semiconducto SiC Sealing Part a úsáidtear go forleathan i bpróiseáil leathsheoltóra agus i bpróisis ardteochta agus ardbhrú eile. Fáilte roimh do chomhairliúchán breise.

Féach ar Tuilleadh >> Seol Fiosrúchán >>

Ceann Cith Silicon Carbide

Is VeTek Semiconductor monaróir tosaigh agus soláthraí táirgí Silicon Carbide Shower Head sa tSín. Tá caoinfhulaingt teocht ard den scoth ag SiC Shower Head, cobhsaíocht cheimiceach, seoltacht theirmeach agus dea-fheidhmíocht dáileacháin gáis, a fhéadfaidh dáileadh aonfhoirmeach gáis a bhaint amach agus cáilíocht scannáin a fheabhsú. Dá bhrí sin, úsáidtear é de ghnáth i bpróisis ardteochta mar thaisceadh gaile ceimiceach (CVD) nó próisis sil-leagan gaile fisiceach (PVD). Fáilte roimh do chomhairliúchán breise.

Féach ar Tuilleadh >> Seol Fiosrúchán >>

Fáinne Séala Carbide Sileacain

Mar mhonaróir agus monarcha táirgí Fáinne Séala Sileacain Carbide gairmiúil sa tSín, úsáidtear Fáinne Séala Carbide Sileacain Leathsheoltóra VeTek go forleathan i dtrealamh próiseála leathsheoltóra mar gheall ar a fhriotaíocht teasa den scoth, friotaíocht creimeadh, neart meicniúil agus seoltacht theirmeach. Tá sé oiriúnach go háirithe do phróisis a bhaineann le teocht ard agus gáis imoibríocha ar nós CVD, PVD agus eitseáil plasma, agus is príomh-rogha ábhartha é sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra. Tá fáilte roimh do chuid fiosrúchán breise.

Féach ar Tuilleadh >> Seol Fiosrúchán >>

Mar mhonaróir Carbide Sileacain Soladach gairmiúil agus soláthraí sa tSín, tá ár monarcha féin againn. Cibé an bhfuil seirbhísí saincheaptha uait chun freastal ar riachtanais shonracha do réigiún nó ag iarraidh a cheannach chun cinn agus durable Carbide Sileacain Soladach a rinneadh sa tSín, is féidir leat teachtaireacht a fhágáil chugainn.