Is modh sciath an-éifeachtach agus a úsáidtear go forleathan é galú léas leictreoin i gcomparáid le téamh friotaíochta, a théann an t-ábhar galú le léas leictreoin, rud a fhágann go ndéanann sé gal agus comhdhlúthú isteach i scannán tanaí.
Leigh Nios moÁirítear le sciath folúis vaporization ábhar scannáin, iompar i bhfolús agus fás scannán tanaí. De réir na modhanna vaporization ábhar scannáin éagsúla agus próisis iompair, is féidir sciath bhfolús a roinnt ina dhá chatagóir: PVD agus CVD.
Leigh Nios moTá taisce scannán tanaí ríthábhachtach i ndéantúsaíocht sliseanna, ag cruthú micreafheistí trí scannáin faoi 1 miocrón tiubh a thaisceadh trí CVD, ALD, nó PVD. Tógann na próisis seo comhpháirteanna leathsheoltóra trí scannáin seoltacha agus inslithe ailtéarnacha.
Leigh Nios moTá ocht gcéim i gceist leis an bpróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra: próiseáil wafer, ocsaídiú, liteagrafaíocht, eitseáil, taisceadh scannán tanaí, idirnascadh, tástáil, agus pacáistiú. Déantar sileacain ó ghaineamh a phróiseáil ina sliseog, é a ocsaídiú, a phatrún agus a eitseáilte le haghaidh c......
Leigh Nios mo