Bád Graphite PECVD

Déanann bád graifíte PECVD Vetek Semiconductor leas iomlán a bhaint as próisis brataithe cealla gréine trí sceallóga sileacain a spásáil go héifeachtach agus scaoiltear glow a spreagadh le haghaidh sil-leagan brataithe aonfhoirmeach. Le teicneolaíocht chun cinn agus roghanna ábhar, cuireann báid graifíte PECVD leathsheoltóra Vetek le cáilíocht sliseog sileacain agus cuireann siad le héifeachtúlacht chomhshó fuinnimh gréine.

Seol Fiosrúchán

Cur síos ar an Táirge

Is monaróir agus soláthraí bád graifíte tSín PECVD gairmiúil é VeTek Semiconductor.

Cén ról atá ag bád graifíte PECVD cille gréine VeTek Semiconductor (brataithe)?

Mar iompróir de ghnáth-wafers sileacain a tháirgtear leis an bpróiseas sciath, tá go leor sliseog bád ag an mbád graifít PECVD le eatraimh áirithe sa struchtúr, agus tá spás an-chúng idir an dá sliseog bád in aice láimhe, agus cuirtear na sliseog sileacain ar an dá cheann. taobhanna an dorais folamh.

Toisc go bhfuil dea-airíonna seoltachta leictreacha agus teirmeacha ag baint le graifít ábhar bád grafite PECVD, iarrtar ar an voltas AC sa dá bhád in aice láimhe, ionas go mbeidh an dá bhád in aice láimhe mar chuaillí dearfacha agus diúltacha, nuair a bhíonn brú agus gás áirithe sa seomra, tarlaíonn urscaoileadh glow idir an dá bhád, is féidir le scaoileadh glow an gás SiH4 agus NH3 a dhianscaoileadh sa spás, ag cruthú iain Si agus N. Déantar móilíní SiNx a fhoirmiú agus a thaisceadh ar dhromchla wafer sileacain chun an cuspóir sciath a bhaint amach.

Bád graifít PECVD mar iompróir le haghaidh scannán antireflection plating cealla gréine, bíonn tionchar díreach ag a struchtúr agus a mhéid ar éifeachtúlacht chomhshó agus éifeachtúlacht táirgthe sliseog sileacain, tar éis blianta de thaighde agus forbairt theicniúil, tá trealamh táirgeachta chun cinn, dearthóirí teicneolaíochta aibí agus taithí ag ár monarcha anois. foireann táirgthe, agus is féidir le hábhair amhábhair allmhairithe nó ábhair baile ard-deireadh a roghnú. Faoi láthair, tá struchtúr simplí ag an teach graifíte a mhonaraíonn ár gcuideachta, achar réasúnta ón mbád graifíte, rud a fhágann go bhfuil an sciath sileacain aonfhoirmeach, feabhas a chur ar chaighdeán an wafer sileacain, agus go bhfuil éifeachtacht chomhshó fuinnimh na gréine ard.

Tá gach cineál bád grafite ag Vetek Semiconductor a theastaíonn ón margadh anois.

Airíonna fisiceacha bunúsacha graifít iseastatach:

Airíonna fisiceacha graifít iseastatach
Maoin	Aonad	Luach Tipiciúil
Dlús toirte	g/cm³	1.83
Cruas	HSD	58
Friotaíocht Leictreach	mΩ.m	10
Neart Flexural	MPa	47
Neart Comhbhrúiteach	MPa	103
Neart Teanntachta	MPa	31
Modal Óg	GPa	11.8
Leathnú Teirmeach (CTE)	10-6K-1	4.6
Seoltacht Theirmeach	W·m-1·K-1	130
Meánmhéid Grán	μm	8-10
porosity	%	10
Ábhar Fuinseoige	ppm	≤5 (tar éis íonaithe)