Suímh Annealaithe Teirmeach Mear

Is VeTek Semiconductor le rá Mear Teirmeach Annealing Susceptor monaróir agus nuálaí i China.We a bheith speisialaithe i ábhar sciath SiC le blianta fada. Cuirimid Mear Annealing Teirmeach Susceptor le caighdeán ard, friotaíocht teocht ard, super thin.We fáilte roimh duit cuairt a thabhairt ar ár monarcha sa tSín.

Seol Fiosrúchán

Cur síos ar an Táirge

Tá Susceptor Mear Annealaithe Teirmeach VeTek Leathsheoltóra ar ardchaighdeán agus ar feadh an tsaoil fhada, fáilte romhat fiosrúchán a dhéanamh linn.

Is fothacar ríthábhachtach é an Rapid Thermal Anneal (RTA) de Próiseáil Mear Teirmeach a úsáidtear i monarú gléas leathsheoltóra. Baineann sé le téamh na sliseog aonair chun a n-airíonna leictreacha a mhodhnú trí chóireálacha teasa éagsúla spriocdhírithe. Cuireann an próiseas RTA ar chumas dopants a ghníomhachtú, comhéadain tsubstráit scannán-go-scannán nó scannán-go-wafer a athrú, scannáin taiscthe a dhlúsú, staid scannáin fhásta a mhodhnú, damáiste ionchlannú ian a dheisiú, gluaiseacht dopant, agus tiomáint dopants idir scannáin. nó isteach sa tsubstráit wafer.

Tá ról ríthábhachtach ag táirge leathsheoltóra VeTek, Susceptor Annealing Thermal Rapid, i bpróiseas an RTP. Tá sé tógtha ag baint úsáide as ábhar graifíte ard-íonachta le sciath cosanta de chomhdhúile sileacain támh (SiC). Is féidir leis an tsubstráit sileacain atá brataithe le SiC teochtaí suas le 1100 ° C a sheasamh, ag cinntiú feidhmíocht iontaofa fiú faoi choinníollacha foircneacha. Soláthraíonn an sciath SiC cosaint den scoth i gcoinne sceitheadh gáis agus doirteadh cáithníní, rud a chinntíonn fad saoil an táirge.

Chun rialú teochta beacht a choinneáil, tá an sliseanna cuimsithe idir dhá chomhpháirt grafite ard-íonachta atá brataithe le SiC. Is féidir tomhais teochta cruinn a fháil trí braiteoirí ardteochta comhtháite nó teirmeachúplaí i dteagmháil leis an tsubstráit.

Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath CVD SiC:

Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath CVD SiC
Maoin	Luach Tipiciúil
Struchtúr Criostail	FCC β chéim polycrystalline, go príomha (111) atá dírithe
Dlús	3.21 g / cm³
Cruas	Cruas 2500 Vickers (ualach 500g)
Grán SiZe	2~10μm
Íonacht Cheimiceach	99.99995%
Cumas Teasa	640 J·kg-1·K-1
Teocht sublimation	2700 ℃
Neart Flexural	415 MPa RT 4-phointe
Modal Óg	Bend 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
Seoltacht Theirmeach	300W·m-1·K-1
Leathnú Teirmeach (CTE)	4.5×10-6K-1