Is próiseas chun cinn í teicneolaíocht spraeála teirmeach leathsheoltóra Vetek Semiconductor a dhéanann spraeáil ábhair i staid leáite nó leath-leáite ar dhromchla substráit chun sciath a dhéanamh. Úsáidtear an teicneolaíocht seo go forleathan i réimse na déantúsaíochta leathsheoltóra, a úsáidtear go príomha chun cótaí a chruthú le feidhmeanna sonracha ar dhromchla an tsubstráit, mar shampla seoltacht, insliú, friotaíocht creimeadh, agus friotaíocht ocsaídiúcháin. I measc na bpríomhbhuntáistí a bhaineann le teicneolaíocht spraeála teirmeach tá ard-éifeachtúlacht, tiús sciath inrialaithe, agus greamaitheacht maith sciath, rud a fhágann go bhfuil sé tábhachtach go háirithe sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra a éilíonn cruinneas ard agus iontaofacht. Ag tnúth le d'fhiosrúchán.
Próiseas chun cinn is ea teicneolaíocht spraeála teirmeach leathsheoltóra a dhéanann spraeáil ar ábhair i staid leáite nó leath-leáite ar dhromchla foshraith chun sciath a dhéanamh. Úsáidtear an teicneolaíocht seo go forleathan i réimse na déantúsaíochta leathsheoltóra, a úsáidtear go príomha chun cótaí a chruthú le feidhmeanna sonracha ar dhromchla an tsubstráit, mar shampla seoltacht, insliú, friotaíocht creimeadh, agus friotaíocht ocsaídiúcháin. I measc na bpríomhbhuntáistí a bhaineann le teicneolaíocht spraeála teirmeach tá ard-éifeachtúlacht, tiús sciath inrialaithe, agus greamaitheacht maith sciath, rud a fhágann go bhfuil sé tábhachtach go háirithe sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra a éilíonn cruinneas ard agus iontaofacht.
Feidhm na teicneolaíochta spraeála teirmeach i leathsheoltóirí
Eitseáil bhíoma plasma (eitseáil thirim)
De ghnáth tagraíonn sé d'úsáid urscaoileadh glow chun cáithníní gníomhacha plasma a ghiniúint ina bhfuil cáithníní luchtaithe cosúil le plasma agus leictreoin agus adaimh agus móilíní neodracha an-ghníomhach go ceimiceach agus fréamhacha saor in aisce, a idirleata sa chuid atá le heitilt, imoibríonn leis an ábhar eitseáilte, foirm so-ghalaithe. táirgí agus baintear iad, rud a chríochnóidh teicneolaíocht eitseála aistrithe patrún. Is próiseas do-athsholáthair é chun aistriú ard-dhílseachta na bpatrún míne ó theimpléid fhótaliteagrafaíocht go sliseog i dtáirgeadh ciorcaid chomhtháite ultra-mhórscála a bhaint amach.
Ginfear líon mór saorfhréamhacha gníomhacha ar nós Cl agus F. Nuair a eitseáil siad feistí leathsheoltóra, corrodaíonn siad dromchlaí istigh codanna eile den trealamh, lena n-áirítear cóimhiotail alúmanaim agus páirteanna struchtúracha ceirmeacha. Táirgeann an creimeadh láidir seo líon mór cáithníní, rud a éilíonn ní hamháin cothabháil minic ar threalamh táirgeachta, ach go n-eascraíonn sé freisin teip ar an seomra próiseas eitseála agus damáiste don fheiste i gcásanna tromchúiseacha.
Is ábhar é Y2O3 a bhfuil airíonna ceimiceacha agus teirmeacha an-chobhsaí. Tá a leáphointe i bhfad os cionn 2400 ℃. Is féidir leis fanacht cobhsaí i dtimpeallacht láidir creimneach. Féadann a fhriotaíocht in aghaidh bombardú plasma saol seirbhíse na gcomhpháirteanna a leathnú go mór agus cáithníní sa seomra eitseála a laghdú.
Is é an réiteach príomhshrutha ná sciath Y2O3 ard-íonachta a spraeáil chun an seomra eitseála agus príomhchodanna eile a chosaint.