Is VeTek Semiconductor monaróir tosaigh SiC Shower Head agus nuálaí i China.We a bheith speisialaithe i ábhar SiC le haghaidh blianta fada.SiC Shower Ceann roghnaithe mar ábhar fáinne ag díriú mar gheall ar a chobhsaíocht thermochemical den scoth, neart meicniúil ard agus friotaíocht a creimeadh plasma. . Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Is féidir leat a bheith cinnte SiC Shower Head a cheannach ónár mhonarcha.
Tá meascán uathúil d'airíonna teirmeacha, leictreacha agus ceimiceacha den scoth ag ábhair chomhdhúile sileacain, rud a fhágann go bhfuil siad oiriúnach d'iarratais sa tionscal leathsheoltóra ina bhfuil gá le hábhair ardfheidhmíochta.
Cuireann teicneolaíocht réabhlóideach VeTek Semiconductor ar chumas SiC Shower Head a tháirgeadh, ábhar chomhdhúile sileacain ultra-íonachta a cruthaíodh trí phróiseas Taistil Cheimiceach Gaile.
Is comhpháirt ríthábhachtach é an SiC Shower Head i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, atá deartha go sonrach le haghaidh córais MOCVD, epitaxy sileacain, agus próisis epitaxy SiC. Déanta as chomhdhúile sileacain soladach (SiC), is féidir leis an gcomhpháirt seo coinníollacha foircneacha próiseála plasma agus feidhmchláir ardteochta a sheasamh.
Tá cáil ar chomhdhúile sileacain (SiC) mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach, a fhriotaíocht creimeadh ceimiceach, agus a neart meicniúil eisceachtúil, rud a fhágann gur ábhar iontach é le haghaidh comhpháirteanna SiC mórchóir cosúil leis an SiC Shower Head. Cinntíonn an ceann cithfholcadh gáis dáileadh cothrom gás próisis thar an dromchla sliseog, rud atá riachtanach chun sraitheanna epitaxial ardcháilíochta a tháirgeadh. Coinníonn fáinní fócais agus fáinní imeall, a dhéantar go minic ó CVD-SiC, dáileadh plasma aonfhoirmeach agus cosnaíonn siad an seomra ó éilliú, ag cur le héifeachtúlacht agus toradh an fháis epitaxial.
Leis an rialú beacht ar shreabhadh gáis agus airíonna ábhar den scoth, tá an SiC Shower Head ina phríomh-chomhpháirt i bpróiseáil leathsheoltóra nua-aimseartha, ag tacú le hiarratais chun cinn in epitaxy sileacain agus epitaxy SiC.
Tairgeann VeTek Semiconductor ceann cith leathsheoltóra sintéaraithe chomhdhúile sileacain le friotachas íseal. Tá an cumas againn innealtóir saincheaptha a dhéanamh agus ábhair ardcheirmeacha a sholáthar agus leas á bhaint as cumais uathúla éagsúla.
Airíonna fisiceacha Soladach SiC | |||
Dlús | 3.21 | g/cm3 | |
Friotaíocht Leictreachais | 102 | Ω/cm | |
Neart Flexural | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
Modal Óg | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
Cruas Vickers | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
C.T.E.(RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/K | |
Seoltacht Theirmeach(RT) | 250 | W/mK |