téitheoir sciath ceirmeach chomhdhúile sileacain

Leathsheoltóir VeTekIs téitheoir é Téitheoir Cumhdach Ceirmeacha Silicon Carbide atá deartha le haghaidh teocht ard agus timpeallachtaí crua. Cótaíonn sé ciseal sciath ceirmeach carbóin sileacain (SiC) ar dhromchla an eilimint téimh chun friotaíocht teasa den scoth, friotaíocht creimeadh agus seoltacht theirmeach a thabhairt don trealamh. 

Téitheoir sciath ceirmeach chomhdhúile sileacaina úsáidtear go príomha i bhfolús sciath (galú) trealamh. Is iad na modhanna a úsáidtear go coitianta PCD (Triomú Ceimiceach Plasma) agus PVD (Taisce Fisiciúil gaile), a úsáidtear go forleathan i ndéantúsaíocht leathsheoltóra agus iarratais tionsclaíocha ard-éilimh eile.

In éineacht le dearadh sciath ardfheidhmíochta Téitheoir Cumhdach Ceirmeacha Silicon Carbide,is féidir leis réiteach téimh den scoth a sholáthar do phróisis ardteochta.

Seoltacht teirmeach den scoth: Tá seoltacht theirmeach den scoth ag ábhar SiC, ag cinntiú go bhféadfaidh an téitheoir dáileadh teasa aonfhoirmeach a bhaint amach sa limistéar oibre agus grádáin teochta a laghdú.

Dáileadh teasa aonfhoirmeach a sholáthar: Úsáideann Téitheoir Cumhdach Ceirmeacha Silicon Carbide seoltacht ard teirmeach ábhar SiC chun dáileadh teocht aonfhoirmeach a bhaint amach ar fud an limistéir téimh. Tá sé seo ríthábhachtach chun cóireáil teasa aonfhoirmeach ar sliseog leathsheoltóra a áirithiú i bpróisis ardteochta éagsúla, mar shampla próiseáil tapa teirmeach (RTP), idirleathadh agus ocsaídiú, ag seachaint lochtanna táirge de bharr róthéamh áitiúil nó teocht mhíchothrom.

Caoinfhulaingt teocht ard: Cuireann sciath SiC ar chumas an téitheoir teocht an-ard a sheasamh, de ghnáth suas le 1600 ° C, atá oiriúnach do phróisis próiseála ardteochta éagsúla.

Feabhas a chur ar fhriotaíocht teasa: Toisc gur féidir leis an sciath teocht an-ard a sheasamh, feidhmíonn sé go maith i bpróisis a éilíonn oibriú ardteochta fadtéarmach. Mar shampla, i bpróisis ceimiceacha sil-leagain gaile (CVD), is féidir le Téitheoir Cumhdach Ceirmeacha Silicon Carbide oibriú cobhsaí fadtéarmach an trealaimh ag teochtaí arda a chinntiú agus feidhmíocht téimh chomhsheasmhach a chothabháil, rud a fheabhsóidh atrialltacht agus iontaofacht an phróisis.

Friotaíocht creimeadh ceimiceach: Tá friotaíocht an-ard ag sciath SiC ar aigéad, alcaile agus gáis chreimneach, agus féadann sé fanacht cobhsaí ar feadh i bhfad i dtimpeallacht atmaisféar ceimiceach casta, ag leathnú saol an trealaimh. 

Leathnú ar shaol an trealaimh: Tá friotaíocht ocsaídiúcháin agus friotaíocht creimeadh den scoth ag sciath SiC, agus féadann sé seasamh in aghaidh creimeadh ceimiceach agus ocsaídiú ag teocht ard. Tá sé seo thar a bheith tábhachtach sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra, go háirithe i dtimpeallacht ina láimhseálann gáis chreimneach agus ceimiceáin. Is féidir le héifeacht cosanta an tsciath saol seirbhíse an téitheoir a leathnú go suntasach agus minicíocht na gcostas athsholáthair agus cothabhála trealaimh a laghdú.

Airíonna fisiceacha bunúsacha téitheoir sciath ceirmeach chomhdhúile sileacain:

Siopaí téitheoir brataithe ceirmeacha cairbíde sileacain leathsheoltóra VeTek:

Forbhreathnú ar slabhra tionscal epitaxy sliseanna leathsheoltóra VeTek: