Mar an monaróir gairmiúil, ba mhaith le VeTek Semiconductor Susceptors Aixtron G5 MOCVD a sholáthar duit cosúil le Axtron Epitaxy, SiC brataithepáirteanna graifít agus TaC brataithepáirteanna graifít. Fáilte chuig fiosrúchán chugainn.
Is córas sil-leagan é Aixtron G5 do leathsheoltóirí cumaisc. Úsáideann AIX G5 MOCVD ardán imoibreora pláinéadach AIXTRON cruthaithe ag custaiméirí táirgeachta le córas aistrithe wafer cartúis go hiomlán uathoibrithe (C2C). Bainte amach an méid cuas aonair is mó sa tionscal (8 x 6 orlach) agus an cumas táirgthe is mó. Tairgeann sé cumraíochtaí solúbtha 6 - agus 4-orlach atá deartha chun costais táirgthe a íoslaghdú agus cáilíocht táirgí den scoth á chothabháil. Tá an córas CVD pláinéadach balla te tréithrithe ag fás plátaí iolracha i bhfoirnéis amháin, agus tá an éifeachtacht aschuir ard.
Tairgeann VeTek Semiconductor sraith iomlán gabhálais do chóras Susceptor Aixtron G5 MOCVD, atá comhdhéanta de na gabhálais seo:
| Píosa Sá, Frith-uainíocht | Fáinne Dáilte | Uasteorainn | Sealbhóir, Uasteorainn, Inslithe | Pláta Clúdaigh, Lasmuigh |
| Pláta Clúdaigh, Istigh | Fáinne Clúdaigh | Diosca | Diosca Clúdaigh Tarraingt anuas | Bioráin |
| Bioráin-washer | Diosca pláinéadach | Bearna Fáinne Inlet an Bhailitheora | Bailitheoir sceite Uachtarach | Comhla |
| Fáinne Tacaíochta | Tube Tacaíochta |
| Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath CVD SiC | |
| Maoin | Luach Tipiciúil |
| Struchtúr Criostail | FCC β chéim polycrystalline, go príomha (111) atá dírithe |
| Dlús | 3.21 g / cm³ |
| Cruas | Cruas 2500 Vickers (ualach 500g) |
| Grán SiZe | 2~10μm |
| Íonacht Cheimiceach | 99.99995% |
| Cumas Teasa | 640 J·kg-1·K-1 |
| Teocht sublimation | 2700 ℃ |
| Neart Flexural | 415 MPa RT 4-phointe |
| Modal Óg | Bend 430 Gpa 4pt, 1300 ℃ |
| Seoltacht Theirmeach | 300W·m-1·K-1 |
| Leathnú Teirmeach (CTE) | 4.5×10-6·K-1 |
Seoladh
Bóthar Wangda, Sráid Ziyang, Contae Wuyi, Cathair Jinhua, Cúige Zhejiang, an tSín
Teil
R-phost
