E-chuck ceirmeacha

Déantar próisis táirgthe leathsheoltóra, go háirithe próiseáil wafer, i dtimpeallacht folúis, agus iompraíonn sliseog clampála go meicniúil 

rioscaí áirithe. Nuair a bhíonn an fórsa comhchruinnithe ar an bpointe clampála, féadfaidh sliseoga sileacain brioscacha blúirí beaga a chaitheamh, rud a dhéanfaidh damáiste tromchúiseach do tháirgeadh sliseog.

Sa chás seo, déantar rogha níos fearr ar an E-chuck Ceirmeach, rud a shocraíonn an wafer le fórsa leictreastatach. Feidhmíonn an fórsa leictreastatach go cothrom ar an wafer, ionas gur féidir an wafer a shocrú go cothrom, feabhas a chur ar chruinneas an phróisis.

De réir páipéir thaighde ábhartha, tá súchán níos láidre ag Chuck Leictreastatach Ceirmeach ná chucks leictreastatacha eile. Mar shampla, tá súchán i bhfad níos láidre ag Ceirmeach E-chuck ná scannán PET chuck leictreastatach.

Ceirmeacht Déantar Chuck de ghnáth as ábhair ceirmeacha ardfheidhmíochta mar Al2O3, AlN nó SiC, a bhfuil friotaíocht ard teasa, insliú agus friotaíocht creimeadh aige. Ní hamháin go bhfuil Porous SiC Ceramic Chuck cobhsaí ag teochtaí foircneacha, ach cuireann sé cosc ​​​​ar E-chuck Ceirmeach go héifeachtach ó dhíghrádú mar gheall ar imoibrithe ceimiceacha agus eitseáil plasma le linn an phróisis déantúsaíochta.

Rialú teochta: Cuireann seoltacht ard teirmeach agus airíonna teirmeacha cobhsaí na n-ábhar ceirmeach ar chumas Alumina Vacuum Vacuum Chuck an teocht a rialú go héifeachtach, agus dá réir sin an dáileadh teochta a bharrfheabhsú le linn an phróisis.

Inoiriúnaitheacht folúis: Tá Chuck Leictreastatach Ceirmeach oiriúnach do thimpeallachtaí bhfolús, go háirithe i bpróisis eitseála íseal-bhrú agus ardchruinneas.

Giniúint cáithníní íseal: Tá dromchla réidh ag E-chuck ceirmeach, rud a d'fhéadfadh éilliú na gcáithníní a laghdú le linn socrú wafer agus cabhrú le táirgeacht an táirge a fheabhsú.

Feidhmchlár: Úsáidtear go príomha i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, soláthraíonn Ceirmeach E-chuck suíomh beacht agus cobhsaíocht, rud atá an-chabhrach do liteagrafaíocht, eitseáil agus próisis déantúsaíochta próiseála wafer leathsheoltóra eile. A chinntiú go bhfuil an wafer slán le linn na próiseála agus feabhas a chur ar cháilíocht na táirgeachta sliseanna.

Leathsheoltóir VeTekSiopaí táirgeachta ceirmeacha E-chuck: