Breogán Cumhdach CVD TaC

Tá ról lárnach ag Susceptor Rothlaithe Coating TaC i bpróisis taisce ardteochta mar CVD agus MBE, agus is gné thábhachtach é do phróiseáil wafer i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Ina measc,Cumhdach TaCtá friotaíocht teocht ard den scoth, friotaíocht creimeadh agus cobhsaíocht cheimiceach, rud a chinntíonn cruinneas ard agus ardchaighdeán le linn próiseála wafer.

Is gnách go mbíonn Cumhdach TaC CVD comhdhéanta de Chumhdach TaC agusgraifíttsubstráit. Ina measc, is ábhar ceirmeach ardphointe leáphointe é TaC le leáphointe suas le 3880 ° C. Tá cruas an-ard aige (cruas Vickers suas le 2000 HV), friotaíocht creimeadh ceimiceach agus friotaíocht láidir ocsaídiúcháin. Dá bhrí sin, is ábhar den scoth resistant teocht ard é TaC Coating i dteicneolaíocht próiseála leathsheoltóra.

Tá seoltacht teirmeach maith ag an tsubstráit graifíte (tá seoltacht theirmeach thart ar 21 W/m·K) agus cobhsaíocht mheicniúil den scoth. Cinneann an tréith seo go mbeidh graifít ina sciath idéalachtsubstráit.

Úsáidtear CVD TaC Coating Crucible go príomha sna teicneolaíochtaí próiseála leathsheoltóra seo a leanas:

Déantúsaíocht wafer: Tá friotaíocht ardteochta den scoth ag VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible (leáphointe suas le 3880 ° C) agus friotaíocht creimeadh, mar sin is minic a úsáidtear é i bpríomhphróisis déantúsaíochta wafer mar thaisceadh gaile ardteochta (CVD) agus fás epitaxial. In éineacht le cobhsaíocht struchtúrach den scoth an táirge i dtimpeallachtaí teocht ultra-ard, cinntíonn sé gur féidir leis an trealamh oibriú go cobhsaí ar feadh i bhfad faoi choinníollacha an-dian, rud a fheabhsóidh éifeachtacht táirgthe agus cáilíocht na sliseog go héifeachtach.

Próiseas fáis epitaxial: I bpróisis epitaxial marsil-leagan ceimiceach gaile (CVD)agus epitaxy léas móilíneach (MBE), tá ról lárnach ag CVD TaC Coating Crucible san iompar. Ní féidir leis an sciath TaC, ní hamháin íonacht ard an ábhair a choinneáil faoi theocht mhór agus atmaisféar creimneach, ach freisin cosc ​​a chur go héifeachtach ar éilliú na n-imoibreoirí ar an ábhar agus ar chreimeadh an imoibreora, ag cinntiú cruinneas an phróisis táirgthe agus comhsheasmhacht an táirge.

Mar phríomh-mhonaróir agus ceannaire na Síne le CVD TaC Coating Crucible, is féidir le VeTek Semiconductor táirgí saincheaptha agus seirbhísí teicniúla a sholáthar de réir do riachtanais trealaimh agus próisis. Tá súil againn ó chroí a bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.

Bratú chomhdhúile tantalam (TaC) ar thrasghearradh micreascópach：

Airíonna fisiceacha sciath TaC：

Leathsheoltóir VeTek Siopaí breogán brataithe CVD TaC: