An tSín Carbide Sileacain Soladach Monaróir, Soláthraí, Monarcha

Is comhpháirt thábhachtach ceirmeach é VeTek Semiconductor Soladach Sileacain Carbide i dtrealamh eitseála plasma, cairbíd sileacain soladach (CVD chomhdhúile sileacain(c) áirítear páirteanna sa trealamh eitseálafáinní ag díriú, ceann cithfholcadh gáis, tráidire, fáinní imeall, etc. Mar gheall ar imoibríocht íseal agus seoltacht chomhdhúile sileacain soladach (cairbíd sileacain CVD) do gháis eitseála clóirín agus fluairín, is ábhar idéalach é do threalamh eitseála plasma ag díriú ar fháinní agus eile. comhpháirteanna.

Mar shampla, is cuid thábhachtach é an fáinne fócais a chuirtear lasmuigh den wafer agus i dteagmháil dhíreach leis an wafer, trí voltas a chur i bhfeidhm ar an bhfáinne chun an plasma a théann tríd an bhfáinne a dhíriú, agus mar sin an plasma a dhíriú ar an wafer chun aonfhoirmeacht an fháinne a fheabhsú. próiseáil. Tá an fáinne fócas traidisiúnta déanta as sileacain nógrianchloch, sileacain seoltaí mar ábhar fáinne fócais coitianta, tá sé beagnach gar do seoltacht na sliseog sileacain, ach tá an ganntanas friotaíocht eitseáil bocht i fluairín-ina bhfuil plasma, páirteanna meaisín eitseála ábhair a úsáidtear go minic ar feadh tréimhse ama, beidh tromchúiseach. feiniméan creimeadh, ag laghdú go mór a éifeachtúlacht táirgthe.

SFáinne Fócas SiC olidPrionsabal Oibre：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Comparáid idir Fáinne Fócais Si-Bhunaithe agus Fáinne Fócais CVD SiC:

Comparáid idir Fáinne Dírithe Si Bunaithe agus Fáinne Dírithe SiC CVD
Mír	Agus	CVD SiC
Dlús (g/cm³)	2.33	3.21
Bearna banda (eV)	1.12	2.3
Seoltacht theirmeach (W / cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/ ℃)	2.6	4
Modal leaisteacha (GPa)	150	440
Cruas (GPa)	11.4	24.5
Friotaíocht a chaitheamh agus creimeadh	bocht	Ar fheabhas

Tairgeann VeTek Semiconductor páirteanna soladach chomhdhúile sileacain (chomhdhúile sileacain CVD) cosúil le fáinní fócasaithe SiC do threalamh leathsheoltóra. Is fearr na fáinní fócasacha chomhdhúile sileacain soladach atá againn ná sileacain traidisiúnta i dtéarmaí neart meicniúil, friotaíocht ceimiceach, seoltacht theirmeach, marthanacht ardteochta, agus friotaíocht eitseála ian.

Áirítear ar phríomhghnéithe ár bhfáinne fócasaithe SiC:

Dlús ard le haghaidh rátaí laghdaithe eitseála.

Insliú den scoth le bandgap ard.

Seoltacht teirmeach ard agus comhéifeacht íseal leathnú teirmeach.

Friotaíocht tionchar meicniúil Superior agus elasticity.

Cruas ard, friotaíocht caitheamh, agus friotaíocht creimeadh.

Monaraithe ag baint úsáide asdeascadh gaile ceimiceach feabhsaithe plasma (PECVD)teicnící, go gcomhlíonann ár bhfáinne fócasaithe SiC na héilimh mhéadaitheacha a bhaineann le próisis eitseála i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Tá siad deartha chun cumhacht agus fuinneamh plasma níos airde a sheasamh, go sonrach iplasma cúpláilte capacitive (CCP)córais.

Soláthraíonn fáinní fócasaithe SiC VeTek Semiconductor feidhmíocht eisceachtúil agus iontaofacht i ndéantúsaíocht feistí leathsheoltóra. Roghnaigh ár gcomhpháirteanna SiC le haghaidh cáilíochta agus éifeachtúlachta níos fearr.

View as

Suí Bairille Brataithe SiC do LPE PE2061S

Is VeTek Semiconductor Susceptor Bairille Brataithe SiC tosaigh le haghaidh monaróir agus nuálaí LPE PE2061S i China.We a bheith speisialaithe i ábhar brataithe SiC le blianta fada anuas.We tairgeann Susceptor bairille SiC-brataithe deartha go sonrach le haghaidh LPE PE2061S 4'' sliseog. Tá sciath chomhdhúile sileacain marthanach ag an susceptor seo a fheabhsaíonn feidhmíocht agus marthanacht le linn phróiseas LPE (Liquid Phase Epitaxy). Cuirimid fáilte roimh duit cuairt a thabhairt ar ár n-mhonarcha sa tSín.

Leigh Nios mo Seol Fiosrúchán

Ceann Cith Gáis Soladach SiC

Is VeTek Semiconductor monaróir agus nuálaí Ceann Cith Gáis Soladach SiC i China.We curtha speisialaithe i ábhar leathsheoltóra le blianta fada.VeTek Leathsheoltóra Soladach SiC Gáis Shower Ceann Cinntíonn dearadh il-porosity gur féidir leis an teas a ghintear sa phróiseas CVD a bheith scaipthe. , ag cinntiú go bhfuil an tsubstráit téite evenly.We táimid ag tnúth le bunú fadtéarmach leat sa tSín.

Leigh Nios mo Seol Fiosrúchán

Próiseas Taistil Cheimiceach Gaile Fáinne Imeall Soladach SiC

Is VeTek Leathsheoltóra Próiseas Taiscí Ceimiceach Gal tosaigh Soladach SiC Edge Ring monaróir agus nuálaí i China.We a bheith speisialaithe i ábhar leathsheoltóra le blianta fada.VeTek leathsheoltóra fáinne imeall soladach SiC Cuireann aonfhoirmeacht eitseála feabhsaithe agus suite wafer beacht nuair a úsáidtear le chuck leictreastatach , ag cinntiú torthaí eitseála comhsheasmhach agus iontaofa. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.

Leigh Nios mo Seol Fiosrúchán

Fáinne Dírithe Eitseála Soladach SiC

Is VeTek Semiconductor le rá Soladach SiC Eitseáil Fáinne Fócas monaróir agus nuálaí i China.We a bheith speisialaithe i ábhar SiC le blianta fada.Solid SiC roghnaithe mar ábhar fáinne ag díriú mar gheall ar a chobhsaíocht teirmeimiceach den scoth, neart meicniúil ard agus friotaíocht a plasma. erosion.Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.

Leigh Nios mo Seol Fiosrúchán

<1 2 >

Mar mhonaróir Carbide Sileacain Soladach gairmiúil agus soláthraí sa tSín, tá ár monarcha féin againn. Cibé an bhfuil seirbhísí saincheaptha uait chun freastal ar riachtanais shonracha do réigiún nó ag iarraidh a cheannach chun cinn agus durable Carbide Sileacain Soladach a rinneadh sa tSín, is féidir leat teachtaireacht a fhágáil chugainn.