Úsáideann Suídeoir Graifíte Brataithe TaC VeTek Leathsheoltóra modh taisceadh gaile ceimiceach (CVD) chun sciath chomhdhúile tantalam a ullmhú ar dhromchla páirteanna graifíte. Is é an próiseas seo an ceann is aibí agus tá na hairíonna sciath is fearr aige. Is féidir le TaC Coated Graphite Susceptor saol seirbhíse na gcomhpháirteanna graifíte a leathnú, bac a chur ar imirce neamhíonachtaí graifíte, agus cáilíocht epitaxy a chinntiú. Tá VeTek Semiconductor ag tnúth le d'fhiosrúchán.
Tá fáilte romhat teacht chuig ár n-mhonarcha VeTek Semiconductor chun an díol is déanaí, an praghas íseal, agus Susceptor Grafite Brataithe TaC ardchaighdeáin a cheannach. Táimid ag tnúth le comhoibriú leat.
Tá pointe leá ábhar ceirmeach Tantalum chomhdhúile suas go dtí 3880 ℃, pointe leá ard agus cobhsaíocht mhaith ceimiceach an chumaisc, is féidir leis an timpeallacht teocht ard a choimeád ar bun fós feidhmíocht chobhsaí, ina theannta sin, tá sé freisin friotaíocht teocht ard, friotaíocht creimeadh ceimiceacha, ceimiceacha maith agus comhoiriúnacht mheicniúil le hábhair charbóin agus tréithe eile, rud a fhágann gur ábhar sciath cosanta cosanta substráit grafite idéalach é. Is féidir leis an sciath chomhdhúile tantalam na comhpháirteanna graifíte a chosaint go héifeachtach ó thionchar amóinia te, gal hidrigine agus sileacain agus miotail leáite sa timpeallacht úsáide crua, saol seirbhíse na gcomhpháirteanna graifíte a leathnú go suntasach, agus bac a chur ar imirce neamhíonachtaí sa graifít, ag cinntiú cáilíocht epitaxy agus fás criostail. Úsáidtear é go príomha i bpróiseas ceirmeach fliuch.
Is é sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) an modh ullmhúcháin is aibí agus is fearr le haghaidh sciath chomhdhúile tantalam ar dhromchla graifíte.
Úsáideann an próiseas brataithe TaCl5 agus próipiléine mar fhoinse carbóin agus foinse tantalam faoi seach, agus argón mar ghás iompróra chun gal peinteaclóiríd tantalam a thabhairt isteach sa seomra imoibrithe tar éis gásúcháin ardteochta. Faoin sprioc-teocht agus brú, tá gal an ábhair réamhtheachtaithe asaithe ar dhromchla na coda graifíte, agus tarlaíonn sraith d'imoibrithe ceimiceacha casta ar nós dianscaoileadh agus meascán foinse carbóin agus foinse tantalam. Ag an am céanna, tá sraith imoibrithe dromchla cosúil le idirleathadh an réamhtheachtaithe agus dí-asú seachtháirgí i gceist freisin. Mar fhocal scoir, déantar ciseal cosanta dlúth a fhoirmiú ar dhromchla na coda graifíte, rud a chosnaíonn an chuid graifíte ó bheith cobhsaí faoi dhálaí foircneacha comhshaoil. Leathnaítear go suntasach cásanna iarratais na n-ábhar graifíte.
Airíonna fisiceacha sciath TaC | |
Dlús | 14.3 (g/cm³) |
Emissivity sonrach | 0.3 |
Comhéifeacht leathnú teirmeach | 6.3 10-6/K |
Cruas (HK) | 2000 HK |
Friotaíocht | 1 × 10-5 Ohm * cm |
Cobhsaíocht theirmeach | <2500 ℃ |
Athraíonn méid graifíte | -10~-20um |
Tiús sciath | ≥20um luach tipiciúil (35um ±10um) |