Cumhdóir Pláinéadach Cumhdach TaC

Is táirge eisceachtúil é VeTek Semiconductor'TaC Coating Susceptor Pláinéadúil do threalamh epitaxe Aixtron. Soláthraíonn an sciath láidir TaC friotaíocht ardteochta den scoth agus táimhe ceimiceach. Cinntíonn an meascán uathúil seo feidhmíocht iontaofa agus saol seirbhíse fada, fiú i dtimpeallachtaí éilitheacha. Tá VeTek tiomanta do tháirgí ardcháilíochta a sholáthar agus fónamh mar chomhpháirtí fadtéarmach i margadh na Síne le praghsáil iomaíoch.

Seol Fiosrúchán

Cur síos ar an Táirge

I réimse na déantúsaíochta leathsheoltóra, tá ról ríthábhachtach ag an Susceptor Planetary Coating TaC. Úsáidtear go forleathan é i bhfás sraitheanna epitaxial chomhdhúile sileacain (SiC) i dtrealamh cosúil le córas Aixtron G5. Ina theannta sin, nuair a úsáidtear é mar dhiosca seachtrach i dtaiscí brataithe cairbíde tantalam (TaC) le haghaidh epitaxy SiC, soláthraíonn an Susceptor Pláinéadach Coating TaC tacaíocht agus cobhsaíocht riachtanach. Cinntíonn sé sil-leagan aonfhoirmeach an chiseal chomhdhúile tantalam, ag cur le bunú sraitheanna epitaxial ard-chaighdeán le moirfeolaíocht dromchla den scoth agus tiús scannáin atá ag teastáil. Coscann táimhe ceimiceach an sciath TaC frithghníomhartha agus éilliú nach dteastaíonn, ag cothabháil sláine na sraitheanna epitaxial agus ag cinntiú a gcáilíocht níos fearr.

Cuireann seoltacht theirmeach eisceachtúil an sciath TaC ar chumas aistriú teasa éifeachtach, dáileadh teocht aonfhoirmeach a chur chun cinn agus strus teirmeach a íoslaghdú le linn an phróisis fáis epitaxial. Mar thoradh air seo táirgeadh sraitheanna epitaxial SiC ardchaighdeáin le hairíonna criostalagrafacha feabhsaithe agus seoltacht leictreach feabhsaithe.

Mar gheall ar thoisí beachta agus tógáil láidir an Diosca Pláinéadach Coating TaC tá sé éasca é a chomhtháthú sna córais atá ann cheana féin, ag cinntiú comhoiriúnacht gan uaim agus oibriú éifeachtach. Cuireann a fheidhmíocht iontaofa agus a sciath ardcháilíochta TaC le torthaí comhsheasmhacha aonfhoirmeacha i bpróisis epitaxy SiC.

Iontaobhas VeTek Semiconductor agus ár Diosca Pláinéadach Coating TaC le haghaidh feidhmíocht eisceachtúil agus iontaofacht i SiC epitaxy. Taithí a dhéanamh ar na buntáistí a bhaineann lenár réitigh nuálaíocha, a chuirfidh tú ar thús cadhnaíochta maidir le dul chun cinn teicneolaíochta sa tionscal leathsheoltóra.

Páirteanna spártha sciath TaC agus SiC a sholáthraímid:

Paraiméadar táirge an Susceptor Pláinéadúil Cumhdach TaC:

Airíonna fisiceacha sciath TaC
Dlús	14.3 (g/cm³)
Emissivity sonrach	0.3
Comhéifeacht leathnú teirmeach	6.3 10-6/K
Cruas (HK)	2000 HK
Friotaíocht	1 × 10-5 Ohm * cm
Cobhsaíocht theirmeach	<2500 ℃
Athraíonn méid graifíte	-10~-20um
Tiús sciath	≥20um luach tipiciúil (35um ±10um)