Is monaróir gairmiúil Pláta Coating TaC agus páirteanna spártha eile TaC Coating sa tSín é VeTek Semiconductor. Faoi láthair úsáidtear TaC Coating go príomha i bpróisis cosúil le fás criostail aonair chomhdhúile sileacain (modh PVT), diosca epitaxial (lena n-áirítear epitaxy chomhdhúile sileacain, epitaxy LED), etc. In éineacht le cobhsaíocht mhaith fadtéarmach TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Tá Coating Plate anois mar thagarmharc do pháirteanna spártha TaC Coating. Táimid ag tnúth le tú a bheith inár gcomhpháirtí fadtéarmach.
Leathsheoltóir VeTekPláta Cumhdach TaCIs ábhar speisialta a úsáidtear go forleathan saleathsheoltórapróiseas déantúsaíochta. In éineacht lena chruas ard agus friotaíocht caitheamh, friotaíocht teocht ard, friotaíocht creimeadh, comhéifeacht cuimilte íseal agus seoltacht teirmeach maith, tá ról do-athsholáthair ag TaC Coating Plate i go leor naisc de phróiseáil leathsheoltóra.
Go ginearálta, tá feidhmchláir deplátaí brataithe TaCi bpróiseáil leathsheoltóra mar a leanas:
Foshraith fáis CVD/ALD: Mar gheall ar fhriotaíocht ardteochta, cobhsaíocht cheimiceach agus comhéifeacht frithchuimilte íseal plátaí brataithe TaC is foshraitheanna fáis CVD/ALD idéalach iad. Féadann sé timpeallacht chobhsaí fáis a sholáthar chun aonfhoirmeacht agus dlús an scannáin a chinntiú.
Pláta masc eitseála: Cuireann cruas ard agus friotaíocht creimeadh plátaí brataithe TaC ar a gcumas próisis ardfhuinnimh a sheasamh mar eitseáil plasma, mar phlátaí masc eitseála, ag cosaint an scannáin bhunúsach.
Ceap snasta CMP: Mar gheall ar fhriotaíocht chaitheamh agus comhéifeacht frithchuimilte íseal plátaí brataithe TaC tá siad ina n-ábhar idéalach le haghaidh pillíní snasta CMP, ar féidir leo cáithníní agus lochtanna ar dhromchla an scannáin a bhaint go héifeachtach.
Feadán foirnéise teocht ard: Cuireann friotaíocht ard teochta agus friotaíocht creimeadh plátaí brataithe TaC ar chumas iad a úsáid mar fheadáin foirnéise i bhfoirnéisí teocht ard le haghaidh annealing teocht ard, idirleathadh agus próisis eile.
In éineacht le saintréithe an táirge dePláta Cumhdach TaC, cinneann sé go bhfuil ról lárnach ag an táirge seo nach féidir a athsholáthar maidir le feidhmíocht gléas a fheabhsú, saol an trealaimh a leathnú agus éifeachtacht táirgthe a fheabhsú.
Mar mhonaróir gairmiúil deGaN ar SiC epi acceptor, Graifít scagachagusPláta Cumhdach TaCsa tSín, áitíonn VeTek Semiconductor i gcónaí ar sheirbhísí táirgí saincheaptha a sholáthar, agus tá sé tiomanta do réitigh teicneolaíochta agus táirgí is fearr a sholáthar don tionscal. Táimid ag tnúth le do chomhairliúchán breise ó chroí.
Paraiméadair Theicniúla CVD TAC COATING:
Siopaí páirteanna spártha TaC Coating:
Forbhreathnú ar an slabhra tionscal epitaxy sliseanna leathsheoltóra: