Susceptor Cumhdach TaC

Cuireann VeTek Semiconductor an Susceptor Cumhdach TaC i láthair, Leis an sciath eisceachtúil TaC, tá go leor buntáistí ag baint leis an susceptor seo a leagann amach é ó réitigh thraidisiúnta. Ag comhtháthú gan uaim isteach i gcórais atá ann cheana féin, ráthaíonn an Susceptor Coating TaC ó VeTek Semiconductor comhoiriúnacht agus oibriú éifeachtach. Soláthraíonn a fheidhmíocht iontaofa agus a sciath ardcháilíochta TaC torthaí eisceachtúla go seasta i bpróisis epitaxy SiC. Táimid tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha agus táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.

Seol Fiosrúchán

Cur síos ar an Táirge

Oibríonn suipéadóir agus fáinne brataithe TaC VeTek Semiconductor le chéile san imoibreoir fáis epitaxial chomhdhúile sileacain LPE:

Friotaíocht Ardteochta: Tá ardfhriotaíocht ardteochta den scoth ag an susceptor sciath TaC, in ann teochtaí foircneacha suas le 1500 ° C san imoibreoir LPE a sheasamh. Cinntíonn sé seo nach ndéanann an trealamh agus na comhpháirteanna deformáil nó damáiste a fháil le linn oibriú fadtéarmach.

Cobhsaíocht Cheimiceach: Feidhmíonn an susceptor sciath TaC go han-mhaith sa timpeallacht fáis chomhdhúile sileacain creimneach, ag cosaint comhpháirteanna an imoibreora go héifeachtach ó ionsaí creimneach ceimiceach, rud a leathnaíonn a saol seirbhíse.

Cobhsaíocht Teirmeach: Tá cobhsaíocht theirmeach maith ag an susceptor sciath TaC, ag cothabháil moirfeolaíocht an dromchla agus garbh chun aonfhoirmeacht an réimse teochta san imoibreoir a chinntiú, atá tairbheach d'fhás ard-chaighdeán na sraitheanna epitaxial chomhdhúile sileacain.

Frith-Éilliú: Is féidir le dromchla réidh brataithe TaC agus feidhmíocht níos fearr TPD (Dí-ionsú Teochta Cláraithe) carnadh agus asaithe cáithníní agus neamhíonachtaí taobh istigh den imoibreoir a íoslaghdú, rud a chosc éilliú na sraitheanna epitaxial.

Go hachomair, tá ról cosanta ríthábhachtach ag an susceptor agus fáinne brataithe TaC san imoibreoir fáis epitaxial chomhdhúile sileacain LPE, ag cinntiú oibriú cobhsaí fadtéarmach an trealaimh agus fás ardcháilíochta na sraitheanna epitaxial.

Paraiméadar táirge an Susceptor Cumhdach TaC:

Airíonna fisiceacha sciath TaC
Dlús	14.3 (g/cm³)
Emissivity sonrach	0.3
Comhéifeacht leathnú teirmeach	6.3 10-6/K
Cruas (HK)	2000 HK
Friotaíocht	1 × 10-5 Ohm * cm
Cobhsaíocht theirmeach	<2500 ℃
Athraíonn méid graifíte	-10~-20um
Tiús sciath	≥20um luach tipiciúil (35um ±10um)