Is VeTek Leathsheoltóra monaróir Tantalum Carbide Brataithe Chuck tosaigh agus nuálaí i China.We a bheith speisialaithe i sciath TAC le blianta fada.Tá ár gcuid táirgí ardíonachta ard agus friotaíocht teocht ard suas go dtí 2000 ℃. comhpháirtí sa tSín.
Soláthraíonn VeTek Semiconductor Chuck Brataithe Tantalum Carbide ar ardchaighdeán, páirteanna sciath SiC le praghas iomaíoch.Welcome chun fiosrúchán us.VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Brataithe Chuck, atá deartha go sonrach do chóras AIXTRON G10 MOCVD. Feabhsaíonn an cúlpháirtí seo éifeachtúlacht agus cáilíocht i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, ag seachadadh feidhmíocht agus iontaofacht den scoth.
Tá an chuck déanta as ábhair ardchaighdeáin agus déanta go beacht, agus tá foshraith graifíte aige atá brataithe le carbíd tantalam CVD (TaC). Soláthraíonn an sciath seo cobhsaíocht theirmeach den scoth, íonacht ard, agus friotaíocht le teocht ard. Cinntíonn sé feidhmíocht iontaofa i gcoinníollacha éilitheacha próisis MOCVD.
Tá an chuck saincheaptha chun freastal ar mhéideanna éagsúla leathsheoltóra wafer, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do riachtanais táirgthe éagsúla. Laghdaíonn a thógáil láidir aga neamhfhónaimh agus costais chothabhála a bhaineann le hiompróirí sliseog agus susceptors.
Leis an VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Brataithe Chuck, baineann an córas AIXTRON G10 MOCVD éifeachtacht níos airde agus torthaí níos fearr i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Mar gheall ar a chobhsaíocht theirmeach eisceachtúil, a chomhoiriúnacht le méideanna éagsúla wafer, agus a fheidhmíocht iontaofa, is uirlis riachtanach é chun éifeachtúlacht táirgthe a bharrfheabhsú agus chun torthaí den scoth a bhaint amach i dtimpeallacht dhúshlánach MOCVD.
Airíonna fisiceacha sciath TaC | |
Dlús | 14.3 (g/cm³) |
Emissivity sonrach | 0.3 |
Comhéifeacht leathnú teirmeach | 6.3 10-6/K |
Cruas (HK) | 2000 HK |
Friotaíocht | 1 × 10-5 Ohm * cm |
Cobhsaíocht theirmeach | <2500 ℃ |
Athraíonn méid graifíte | -10~-20um |
Tiús sciath | ≥20um luach tipiciúil (35um ±10um) |