Cosantóir Cumhdach CVD SiC

Soláthraíonn Vetek Semiconductor Cosantóir Cumhdach CVD SiC a úsáidtear ná LPE SiC epitaxy, De ghnáth tagraíonn an téarma "LPE" d'Eipiteaxy Brú Íseal (LPE) i Taistil Gail Cheimiceach Íseal Brú (LPCVD). I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, is teicneolaíocht phróiseas tábhachtach é LPE chun scannáin tanaí criostail aonair a fhás, a úsáidtear go minic chun sraitheanna epitaxial sileacain nó sraitheanna epitaxial leathsheoltóra eile a fhás.Pls aon leisce ort teagmháil a dhéanamh linn le haghaidh tuilleadh ceisteanna.

Seol Fiosrúchán

Cur síos ar an Táirge

Tá cosantóir Cumhdach CVD SiC ardchaighdeáin á thairiscint ag monaróir na Síne Vetek Semiconductor. Ceannaigh CVD Coating Cumhdach SiC atá ar ardchaighdeán go díreach le praghas íseal.

Tagraíonn LPE SiC epitaxy le húsáid teicneolaíocht epitaxy brú íseal (LPE) chun sraitheanna epitaxy chomhdhúile sileacain a fhás ar fhoshraitheanna chomhdhúile sileacain. Is ábhar leathsheoltóra den scoth é SiC, le seoltacht teirmeach ard, voltas miondealú ard, luas sreabhadh leictreon ard sáithithe agus airíonna den scoth eile, a úsáidtear go minic i monarú feistí leictreonacha teocht ard, ardmhinicíochta agus ardchumhachta.

Is teicníc fáis a úsáidtear go coitianta é LPE SiC epitaxy a úsáideann prionsabail taisceadh gaile ceimiceach (CVD) chun ábhar carbide sileacain a thaisceadh ar fhoshraith chun an struchtúr criostail atá ag teastáil a fhoirmiú faoi na coinníollacha teochta, atmaisféar agus brú ceart. Is féidir leis an teicníc epitaxy seo meaitseáil laitíse, tiús agus cineál dópála an chiseal epitaxy a rialú, rud a chuireann isteach ar fheidhmíocht an fheiste.

Áirítear ar na buntáistí a bhaineann le epitaxy LPE SiC:

Ardchaighdeán criostail: Is féidir le LPE criostail ardteochta a fhás ag teochtaí arda.

Rialú paraiméadair ciseal epitaxial: Is féidir tiús, dópáil agus meaitseáil laitíse na ciseal epitaxial a rialú go beacht chun freastal ar riachtanais feiste ar leith.

Oiriúnach do fheistí sonracha: Tá sraitheanna epitaxial SiC oiriúnach chun feistí leathsheoltóra a mhonarú le ceanglais speisialta amhail feistí cumhachta, feistí ard-minicíochta agus feistí ardteochta.

I LPE SiC epitaxy, is táirge tipiciúil na codanna leathmhóin. Tá an Cosantóir Cumhdach CVD SiC in aghaidh an tsrutha agus anuas, atá le chéile ar an dara leath de na codanna leathmhóin, ceangailte le feadán Grianchloch, is féidir leis an ngás pas a fháil chun an bonn tráidire a thiomáint chun an teocht a rothlú agus a rialú. Is cuid thábhachtach de chomhdhúile sileacain epitaxy é.

Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath CVD SiC:

Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath CVD SiC
Maoin	Luach Tipiciúil
Struchtúr Criostail	FCC β chéim polycrystalline, go príomha (111) atá dírithe
Dlús	3.21 g / cm³
Cruas	Cruas 2500 Vickers (ualach 500g)
Grán SiZe	2~10μm
Íonacht Cheimiceach	99.99995%
Cumas Teasa	640 J·kg-1·K-1
Teocht sublimation	2700 ℃
Neart Flexural	415 MPa RT 4-phointe
Modal Óg	Bend 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
Seoltacht Theirmeach	300W·m-1·K-1
Leathnú Teirmeach (CTE)	4.5×10-6K-1