Cad é próiseas epitaxy leathsheoltóra?

Tá sé oiriúnach ciorcaid chomhtháite nó feistí leathsheoltóra a thógáil ar chiseal bonn criostalach foirfe. Tá anepitaxyTá sé mar aidhm ag próiseas (epi) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra ciseal fíneáil aon-criostalach, de ghnáth thart ar 0.5 go 20 miocrón, a thaisceadh ar fhoshraith aon-criostalach. Is céim thábhachtach é an próiseas epitaxy maidir le feistí leathsheoltóra a mhonarú, go háirithe i ndéantúsaíocht wafer sileacain.

Próiseas epitaxy (epi) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra

Forbhreathnú ar Epitaxy i Déantúsaíocht Leathsheoltóra

Cad é atá i gceist Leis an bpróiseas epitaxy (epi) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra is féidir sraith tanaí criostalach a fhás i dtreoshuíomh tugtha ar bharr foshraith criostalach.

Sprioc I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, is é sprioc an phróisis epitaxy ná na leictreoin a iompar níos éifeachtaí tríd an bhfeiste. I dtógáil feistí leathsheoltóra, cuirtear sraitheanna epitaxy san áireamh chun an struchtúr a bheachtú agus a dhéanamh aonfhoirmeach.

Próiseas AnepitaxyCeadaíonn próiseas fás sraitheanna epitaxial íonachta níos airde ar fhoshraith den ábhar céanna. I roinnt ábhar leathsheoltóra, mar shampla trasraitheoirí bipolar heterojunction (HBTanna) nó trasraitheoirí éifeacht réimse leathsheoltóra ocsaíd miotail (MOSFETanna), úsáidtear an próiseas epitaxy chun ciseal ábhar difriúil ón tsubstráit a fhás. Is é an próiseas epitaxy a fhágann gur féidir ciseal dópáilte ísealdlúis a fhás ar shraith ábhar arddhópáilte.

Forbhreathnú ar an bpróiseas epitaxy i ndéantúsaíocht leathsheoltóra

Cad é atá i gceist Leis an bpróiseas epitaxy (epi) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra is féidir sraith tanaí criostalach a fhás i dtreoshuíomh áirithe ar bharr foshraith criostalach.

Sprioc i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, is é sprioc an phróisis epitaxy ná na leictreoin a iompar tríd an bhfeiste a dhéanamh níos éifeachtaí. I dtógáil feistí leathsheoltóra, cuirtear sraitheanna epitaxy san áireamh chun an struchtúr a bheachtú agus a dhéanamh aonfhoirmeach.

Ceadaíonn an próiseas epitaxy fás sraitheanna epitaxial íonachta níos airde ar fhoshraith den ábhar céanna. I roinnt ábhar leathsheoltóra, mar shampla trasraitheoirí bipolar heterojunction (HBTanna) nó trasraitheoirí éifeacht réimse leathsheoltóra ocsaíd miotail (MOSFETanna), úsáidtear an próiseas epitaxy chun ciseal ábhar difriúil ón tsubstráit a fhás. Is é an próiseas epitaxy a fhágann gur féidir ciseal dópáilte ísealdlúis a fhás ar shraith ábhar arddhópáilte.

Cineálacha Próiseas Eipidaxial i Déantúsaíocht Leathsheoltóra

Sa phróiseas epitaxial, déantar treo an fháis a chinneadh ag criostail an tsubstráit bhunúsach. Ag brath ar athrá an taiscthe, is féidir ciseal epitaxial amháin nó níos mó a bheith ann. Is féidir próisis epitaxial a úsáid chun sraitheanna tanaí ábhar a fhoirmiú atá mar an gcéanna nó difriúil i gcomhdhéanamh ceimiceach agus i struchtúr ón bhfoshraith bhunúsach.

Dhá chineál próisis Epi

TréitheHomoepitaxy Heteroepitax

Sraitheanna fáis Is é an ciseal fáis epitaxial an t-ábhar céanna le ciseal an tsubstráit Is ábhar difriúil é an ciseal fáis epitaxial ó chiseal an tsubstráit

Struchtúr criostail agus laitíse Tá struchtúr criostail agus tairiseach laitíse an tsubstráit agus an chiseal epitaxial mar an gcéanna Tá struchtúr criostail agus tairiseach laitíse an tsubstráit agus an ciseal epitaxial difriúil

Samplaí Fás epitaxial sileacain ard-íonachta ar fhoshraith sileacain Fás epitaxial ar arsenide ghailliam ar fhoshraith sileacain

Feidhmchláir Struchtúir feiste leathsheoltóra a éilíonn sraitheanna de leibhéil dhifriúla dópála nó scannáin íona ar fhoshraitheanna nach bhfuil chomh glan sin Struchtúir gléas leathsheoltóra a éilíonn sraitheanna d'ábhair éagsúla nó a thógann scannáin chriostail d'ábhair nach féidir a fháil mar chriostail shingil

Dhá Chineál Próiseas Epi

Tréithe Homoepitaxy Heteroepitaxy

Ciseal Fáis Is é an ciseal fáis epitaxial an t-ábhar céanna le ciseal an tsubstráit Is ábhar difriúil é an ciseal fáis epitaxial ná an ciseal tsubstráit

Struchtúr Criostail agus Laitíse Tá struchtúr criostail agus tairiseach laitíse an tsubstráit agus an chiseal epitaxial mar an gcéanna Tá struchtúr criostail agus tairiseach laitíse an tsubstráit agus na ciseal epitaxial difriúil

Samplaí Fás epitaxial de sileacain ardíonachta ar fhoshraith sileacain Fás epitaxial ar arsainíd ghailliam ar fhoshraith sileacain

Feidhmchláir Struchtúir gléas leathsheoltóra a éilíonn sraitheanna de leibhéil dhifriúla dópála nó scannáin íona ar fhoshraitheanna nach bhfuil chomh glan sin Struchtúir gléas leathsheoltóra a éilíonn sraitheanna d'ábhair éagsúla nó a thógann scannáin chriostail d'ábhair nach féidir a fháil mar chriostail shingil

Fachtóirí a bhfuil Tionchar acu ar Phróisis Eipiteascópacha sa Déantúsaíocht Leathsheoltach

Cur síos ar na fachtóirí

Teocht Tionchar aige ar an ráta epitaxy agus dlús ciseal epitaxial. Tá an teocht atá ag teastáil don phróiseas epitaxy níos airde ná teocht an tseomra agus braitheann an luach ar an gcineál epitaxy.

Brú Tionchar aige ar an ráta epitaxy agus dlús ciseal epitaxial.

Lochtanna Bíonn sliseoga lochtacha mar thoradh ar lochtanna san epitaxy. Ba cheart na coinníollacha fisiceacha a theastaíonn don phróiseas epitaxy a choinneáil le haghaidh fás ciseal epitaxial saor ó locht.

Seasamh Inmhianaithe Ba cheart go bhfásfadh an próiseas epitaxy ar shuíomh ceart an chriostail. Ba cheart na réimsí nach dteastaíonn fás iontu le linn an phróisis a bhratú i gceart chun fás a chosc.

Féindhópáil Ós rud é go ndéantar an próiseas epitaxy ag teochtaí arda, d'fhéadfadh go mbeadh adaimh dopant in ann athruithe a dhéanamh san ábhar.

Cur síos ar an bhFachtóir

Teocht Tionchar aige ar an ráta epitaxy agus ar dhlús na ciseal epitaxial. Tá an teocht atá ag teastáil don phróiseas epitaxial níos airde ná teocht an tseomra, agus braitheann an luach ar an gcineál epitaxy.

Bíonn tionchar ag brú ar an ráta epitaxy agus dlús ciseal epitaxial.

Lochtanna Bíonn sliseoga lochtacha mar thoradh ar lochtanna san epitaxy. Ba cheart na coinníollacha fisiceacha a theastaíonn don phróiseas epitaxy a choinneáil le haghaidh fás ciseal epitaxial saor ó locht.

Suíomh inmhianaithe Ba cheart go bhfásfadh an próiseas epitaxy ar shuíomh ceart an chriostail. Ba cheart limistéir nach dteastaíonn fás iontu le linn an phróisis seo a bhratú i gceart chun fás a chosc.

Féindhópáil Ós rud é go ndéantar an próiseas epitaxy ag teochtaí arda, d'fhéadfadh go mbeadh adaimh dopant in ann athruithe a dhéanamh san ábhar.

Dlús agus ráta epitaxial

Is é dlús an fháis epitaxial líon na n-adamh in aghaidh an aonaid toirte ábhar sa chiseal fáis epitaxial. Bíonn tionchar ag fachtóirí cosúil le teocht, brú, agus an cineál tsubstráit leathsheoltóra ar fhás epitaxial. Go ginearálta, athraíonn dlús an chiseal epitaxial leis na fachtóirí thuas. Tugtar an ráta epitaxy ar an luas ag a bhfásann an ciseal epitaxial.

Má fhástar an epitaxy sa suíomh agus sa treoshuíomh cuí, beidh an ráta fáis ard agus vice versa. Cosúil leis an dlús ciseal epitaxial, braitheann an ráta epitaxy freisin ar fhachtóirí fisiceacha cosúil le teocht, brú, agus cineál ábhar an tsubstráit.

Méaduithe ar an ráta epitaxial ag teochtaí arda agus brú íseal. Braitheann an ráta epitaxy freisin ar threoshuíomh struchtúr an tsubstráit, tiúchan na n-imoibreoirí, agus an teicníc fáis a úsáidtear.

Modhanna Próisis Epitaxy

Tá roinnt modhanna epitaxy ann:epitaxy chéim leachtach (LPE), epitaxy chéim gal hibrideach, epitaxy pas soladach,sil-leagan ciseal adamhach, sil-leagan ceimiceach gaile, epitaxy bhíoma mhóilíneach, etc. Déanaimis dhá phróiseas epitaxy a chur i gcomparáid: CVD agus MBE.

Sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) Eipiteacs léasa mhóilíneach (MBE)

Próiseas ceimiceach Próiseas fisiceach

Tá imoibriú ceimiceach i gceist leis a tharlaíonn nuair a bhuaileann réamhtheachtaithe gáis le foshraith téite i seomra fáis nó imoibreoir Déantar an t-ábhar atá le taisceadh a théamh faoi choinníollacha folúis

Rialú beacht ar phróiseas fáis an scannáin Rialú beacht ar thiús agus ar chomhdhéanamh na ciseal fásta

Le haghaidh feidhmchláir a éilíonn sraitheanna epitaxial ardcháilíochta Le haghaidh feidhmchláir a dteastaíonn sraitheanna epitaxial thar a bheith mín

Modh is coitianta a úsáidtear Modh níos costasaí

Próiseas ceimiceach Próiseas fisiceach

Tá imoibriú ceimiceach i gceist leis a tharlaíonn nuair a bhuaileann réamhtheachtaithe gáis le foshraith téite i seomra fáis nó imoibreoir Déantar an t-ábhar atá le taisceadh a théamh faoi choinníollacha folúis

Rialú beacht ar an bpróiseas fáis scannáin tanaí Rialú beacht ar thiús agus ar chomhdhéanamh na ciseal fásta

Úsáidtear é in iarratais óna dteastaíonn sraitheanna epitaxial ardcháilíochta Úsáidtear iad in iarratais óna dteastaíonn sraitheanna epitaxial thar a bheith mín

Modh is coitianta a úsáidtear Modh níos costasaí

Tá an próiseas epitaxy ríthábhachtach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra; déanann sé feidhmíocht na

feistí leathsheoltóra agus ciorcaid iomlánaithe. Tá sé ar cheann de na príomhphróisis i ndéantúsaíocht gléas leathsheoltóra a dhéanann difear do cháilíocht gléas, tréithe agus feidhmíocht leictreach.