Déantúsaíocht Sliseanna: Taisce Ciseal Adamhach (ALD)

Sa tionscal déantúsaíochta leathsheoltóra, de réir mar a leanann méid an fheiste ag laghdú, tá dúshláin gan fasach ag baint le teicneolaíocht taisce ábhair scannáin tanaí. Tá Taiscí Ciseal Adamhach (ALD), mar theicneolaíocht thaisceadh scannáin tanaí ar féidir leo rialú beacht a bhaint amach ag an leibhéal adamhach, tar éis éirí mar chuid fíor-riachtanach de mhonarú leathsheoltóra. Tá sé mar aidhm ag an alt seo sreabhadh próisis agus prionsabail ALD a thabhairt isteach chun cabhrú le tuiscint a fháil ar a ról tábhachtach idéantúsaíochta sliseanna chun cinn.

1. Míniú mionsonraithe ar anALDsreabhadh próisis

Leanann an próiseas ALD seicheamh dian lena chinntiú nach gcuirtear ach ciseal adamhach amháin leis gach uair a thaisceadh, agus ar an gcaoi sin rialú beacht ar thiús an scannáin a bhaint amach. Is iad seo a leanas na céimeanna bunúsacha:

Pulse réamhtheachtaithe: AnALDTosaíonn an próiseas le tabhairt isteach an chéad réamhtheachtaithe isteach sa seomra imoibrithe. Is gás nó gal é an réamhtheachtaí seo ina bhfuil dúile ceimiceacha an sprioc-ábhar sil-leagan is féidir imoibriú le suíomhanna gníomhacha ar leith ar ansliseagdromchla. Déantar na móilíní réamhtheachtaithe a adsorbadh ar an dromchla wafer chun ciseal móilíneach sáithithe a fhoirmiú.

Glanadh gáis támh: Ina dhiaidh sin, tugtar isteach gás támh (cosúil le nítrigin nó argón) le haghaidh purge chun réamhtheachtaithe agus seachtháirgí neamh-imoibrithe a bhaint, ag cinntiú go bhfuil an dromchla wafer glan agus réidh don chéad imoibriú eile.

Pulse an dara réamhtheachtaithe: Tar éis an purge a bheith críochnaithe, tugtar isteach an dara réamhtheachtaí chun imoibriú ceimiceach leis an réamhtheachtaí atá asaithe sa chéad chéim chun an taisce atá ag teastáil a ghiniúint. Is gnách go mbíonn an t-imoibriú seo féin-theorannú, is é sin, a luaithe a bheidh gach suíomh gníomhach á áitiú ag an gcéad réamhtheachtaí, ní tharlóidh imoibrithe nua a thuilleadh.

Glanadh gáis támh arís: Tar éis don imoibriú a bheith críochnaithe, glantar an gás támh arís chun imoibreoirí agus seachtháirgí iarmharacha a bhaint, an dromchla a athchóiriú go stát glan agus ullmhú don chéad timthriall eile.

Is timthriall iomlán ALD é an tsraith céimeanna seo, agus gach uair a chríochnaítear timthriall, cuirtear ciseal adamhach leis an dromchla wafer. Trí líon na dtimthriallta a rialú go beacht, is féidir an tiús scannáin atá ag teastáil a bhaint amach.

(ALD céim timthrialla amháin)

2. Anailís phrionsabal an phróisis

Is é imoibriú féin-theorannú ALD a chroíphrionsabal. I ngach timthriall, ní féidir leis na móilíní réamhtheachtaithe imoibriú ach leis na suíomhanna gníomhacha ar an dromchla. Nuair a bheidh na suíomhanna seo áitithe go hiomlán, ní féidir na móilíní réamhtheachtaithe ina dhiaidh sin a asú, rud a chinntíonn nach gcuirtear ach sraith amháin adamh nó móilíní isteach i ngach babhta sil-leagan. Déanann an ghné seo aonfhoirmeacht agus cruinneas thar a bheith ard ag ALD nuair a bhíonn scannáin tanaí á dtaisceadh. Mar a léirítear san fhigiúr thíos, féadann sé clúdach céime maith a choinneáil fiú ar struchtúir chasta tríthoiseacha.

3. Feidhm ALD i Déantúsaíocht Leathsheoltóra

Úsáidtear ALD go forleathan sa tionscal leathsheoltóra, lena n-áirítear, ach gan a bheith teoranta do:

Taiscí ábhar ard-k: a úsáidtear le haghaidh ciseal inslithe geata de thrasraitheoirí giniúna nua chun feidhmíocht gléas a fheabhsú.

Taisce geata miotail: mar nítríde tíotáiniam (TiN) agus nítríde tantalam (TaN), a úsáidtear chun luas aistrithe agus éifeachtúlacht trasraitheoirí a fheabhsú.

Ciseal bacainn idirnasctha: cosc ​​a chur ar idirleathadh miotail agus cobhsaíocht agus iontaofacht ciorcad a chothabháil.

Líonadh struchtúr tríthoiseach: mar shampla bealaí a líonadh i struchtúir FinFET chun comhtháthú níos airde a bhaint amach.

Thug sil-leagan ciseal adamhach (ALD) athruithe réabhlóideacha ar an tionscal déantúsaíochta leathsheoltóra lena cruinneas agus a aonfhoirmeacht neamhghnách. Trí phróiseas agus prionsabail ALD a mháistir, tá innealtóirí in ann feistí leictreonacha a thógáil le feidhmíocht den scoth ag an nana-scála, ag cur chun cinn leanúnach na teicneolaíochta faisnéise chun cinn. De réir mar a leanann an teicneolaíocht ag forbairt, beidh ról níos tábhachtaí fós ag ALD sa réimse leathsheoltóra amach anseo.