Glacadóir ALD

Mar gairmiúilGlacadóir ALDmonaróir sa tSín, ár dtáirgeGlacadóir ALDCinneann rialú teochta beacht, dáileadh aonfhoirmeach gáis agus seoltacht theirmeach den scoth agus tréithe táirge eile é sinGlacadóir ALDTá ról ríthábhachtach aige sa phróiseas sil-leagan adamhach (ALD). Ról tábhachtach, fáilte roimh do chomhairliúchán.

Teistíocht scannán tanaí aonfhoirmeach: Cinntíonn Susceptor ALD sil-leagan aonfhoirmeach na sraitheanna adamhach thar an dromchla iomlán wafer le linn an phróisis sil-leagan adamhach (ALD). Ligeann a dhearadh rothlach uathúil do gháis agus imoibreoirí teagmháil a dhéanamh go cothrom leis an dromchla wafer, rud a fhágann go bhfuil tiús aonfhoirmeach scannáin ann. Tá sé seo ríthábhachtach do mhonarú leathsheoltóra ardchruinneas.

Feabhas a chur ar cháilíocht na sil-leagan: Trí rialú teochta agus dáileadh gáis a bharrfheabhsú, feabhsaíonn an Susceptor ALD cáilíocht agus feidhmíocht scannáin go suntasach, ag laghdú lochtanna agus neamh-aonfhoirmeacht. Déanann sé seo an-oiriúnach do dhéantúsaíocht leathsheoltóra ardchruinneas agus gléasanna leictreonacha, ag cinntiú iontaofacht agus feidhmíocht an táirge.

Tacaíonn próiseáil il-wafer: Ligeann dearaí áirithe Susceptor ALD gur féidir il-sriseán a phróiseáil go comhuaineach, rud a mhéadaíonn éifeachtacht táirgthe. Tá sé seo tábhachtach go háirithe do thimpeallachtaí déantúsaíochta ard-thréchur, atá in ann freastal ar riachtanais táirgeachta ar scála mór.

Freastalaíonn sé ar mhéideanna agus cineálacha éagsúla sliseog: Go ginearálta déantar Suceptors ALD a dhearadh le haghaidh comhoiriúnacht ard agus is féidir leo tacú le méideanna agus cineálacha éagsúla sliseog. Fágann sin go bhfuil sé éifeachtach i bpróisis táirgthe éagsúla, rud a chuireann solúbthacht agus inoiriúnaitheacht níos fearr ar fáil.

Costais táirgthe a laghdú: Mar gheall ar a dháileadh gáis éifeachtach agus a chumas teasa aonfhoirmeach, méadaíonn an Susceptor ALD éifeachtacht an phróisis sil-leagan, rud a laghdóidh dramhaíl ábhar agus costais táirgthe. Ní hamháin go gcabhraíonn sé seo le héifeachtúlacht táirgthe a fheabhsú ach laghdaíonn sé go mór costais déantúsaíochta.

Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath CVD SiC:

Siopaí táirgeachta:

Forbhreathnú ar an slabhra tionscal epitaxy sliseanna leathsheoltóra：