Cad is Cumhdach CVD TAC ann?

Mar is eol dúinn go léir,TaCtá leáphointe suas le 3880 ° C aige, neart meicniúil ard, cruas, friotaíocht turraing teirmeach; táimhe ceimiceach maith agus cobhsaíocht theirmeach d'amóinia, hidrigin, gal ina bhfuil sileacain ag teochtaí arda.

Cumhdach CVD TAC, sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) desciath chomhdhúile tantalam (TaC)., is próiseas é chun sciath ard-dlúis agus marthanach a fhoirmiú ar fhoshraith (graifít de ghnáth). Is éard atá i gceist leis an modh seo ná TaC a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit ag teochtaí arda, rud a fhágann go bhfuil sciath le cobhsaíocht theirmeach den scoth agus friotaíocht ceimiceach.

I measc na bpríomhbhuntáistí a bhaineann le bratuithe CVD TaC tá:

Cobhsaíocht teirmeach thar a bheith ard: is féidir leis teochtaí os cionn 2200°C a sheasamh.

Friotaíocht cheimiceach: is féidir leo seasamh in aghaidh go héifeachtach le ceimiceáin gharbh cosúil le hidrigin, amóinia agus gal sileacain.

Greamaitheacht láidir: cinntíonn sé cosaint fhadtéarmach gan delamination.

Ard-íonacht: íoslaghdaíonn sé neamhíonachtaí, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais leathsheoltóra.

Tá na bratuithe seo oiriúnach go háirithe do thimpeallachtaí a dteastaíonn ard-marthanacht agus friotaíocht le coinníollacha foircneacha, mar shampla déantúsaíocht leathsheoltóra agus próisis thionsclaíocha ardteochta.

I dtáirgeadh tionsclaíoch, tá an-dócha go gcuirfear ábhair graifít (ilchodach carbóin-charbóin) atá brataithe le sciath TaC in ionad graifít ard-íonachta traidisiúnta, sciath pBN, páirteanna sciath SiC, etc. Ina theannta sin, i réimse an aeraspáis, tá cumas mór ag TaC. a úsáid mar sciath ard-teocht frith-ocsaídiúcháin agus frith-ablation, agus tá ionchais iarratais leathan. Mar sin féin, tá go leor dúshláin ann fós maidir le hullmhú sciath TaC dlúth, aonfhoirmeach, neamh-scaptha ar dhromchla na graifíte agus táirgeadh mais thionsclaíoch a chur chun cinn.

Sa phróiseas seo, tá iniúchadh ar mheicníocht cosanta an sciath, nuálaíocht a dhéanamh ar an bpróiseas táirgthe, agus dul san iomaíocht leis an leibhéal eachtrach barr ríthábhachtach d'fhás criostail leathsheoltóra tríú glúin agus epitaxy.